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超高精度CNC影像测量系统-ULTRA QV404
ULTRA QV404 是实现了世界顶级测量精度E1XY=(0.25+L/1000)μm 的超高精度CNC 影像测量系统。 为了将直线度误差控制至最小,X、Y、Z3轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的空气轴承。 通过FEM (有限要素法) 解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化。 作为基准的测长方式采用了分辨力为0.01μm的光学式线性编码器。该编码器的线性膨胀系数为零,将温度变化产生的误差控制到最小限度。
超高精度CNC影像测量系统-ULTRA QV404
规格:
  ULTRA QV 404
测量范围 (X×Y×Z) 400×400×200mm
放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X
分辨力 0.01 μm
长度测量装置 线性编码器
影像测量方法 CCD 照相机
测量精度*1 *2 E1X, E1Y (0.25+L/1000)μm
E1Z (1.5+2L/1000)  μm  (测量范围:  200mm) (1.0+2L/1000) μm (测量范围: 10 - 60mm)
E2XY (0.5+2L/1000)μm
LAF重复精度*3 σ= 0.4μm
照明装置 *4 同轴照明透射照明程控环形照明
工作台玻璃尺寸 493×551mm
台面最大承重 *5 40kg
尺寸 (W×D×H) 1172×1735×1910mm
重量 (  包括机器设置台 )  2150kg
*1 L = 任意2 点之间的尺寸(mm) 。
*2 依据三丰公司的检查方法。 *3 仅限于带LAF 的机型。 *4 冷光源照明用卤素灯泡和光纤。 *5 不包括极端的载重、集中载重。  
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